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高精度激光測振儀

高精度激光測振儀

簡要描述:高精度激光測振儀可以通過顯微光學(xué)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)對(duì)微小物體的振動(dòng)測量,可以精確測量MEMS等微小結(jié)構(gòu)元器件的振動(dòng)和形貌,激光光斑達(dá)微米量級(jí),并可通過顯微成像系統(tǒng)實(shí)時(shí)觀察物體的振動(dòng)狀態(tài)(頻率、速度、加速度、位移)等多維信息。

產(chǎn)品型號(hào): LV-S01-M

所屬分類:掃描式激光測振儀

更新時(shí)間:2023-10-07

詳細(xì)說明:

高精度激光測振儀工作原理 :
激光測振儀的核心是一臺(tái)高精密激光干涉儀和一臺(tái)信號(hào)處理器。高精密激光干涉儀內(nèi)的He-Ne激光器發(fā)出的偏振光(設(shè)頻率為F0)由分光鏡分成兩路,一路作為測量,一路用于參考。測量光通過聲光調(diào)制器具有一定頻移(F),再被聚焦到被測物體表面,物體振動(dòng)引起頻移(f =2v/λ)。系統(tǒng)收集反射光并與參考光匯聚在傳感器上,這樣兩束光在傳感器表面產(chǎn)生干涉,干涉信號(hào)的頻率為F+f,攜帶了被測物體的振動(dòng)信息,信號(hào)處理器將頻移信號(hào)轉(zhuǎn)換為速度和位移信號(hào)。
 
采用的是非接觸式的測量方法,具有出色的頻率和相位響應(yīng),可準(zhǔn)確地對(duì)各種物體的振動(dòng)、位移、速度及加速度等進(jìn)行測量,在滿足高精度、高速測量需求的同時(shí),還可以彌補(bǔ)接觸式測量無法測量的缺陷。它主要由干涉儀及振動(dòng)控制器兩部分組成,并被廣泛應(yīng)用于各高校/研究所以及各大工廠。
 
技術(shù)指標(biāo):

激光測振儀采用非接觸式動(dòng)態(tài)干涉測量技術(shù),在以下各方面有廣泛的應(yīng)用:
1、微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)動(dòng)態(tài)測試;
2、汽車工業(yè):發(fā)動(dòng)機(jī)、齒輪、制動(dòng)器、輪胎、排氣系統(tǒng)、車身等;
3、馬達(dá)回轉(zhuǎn)動(dòng)態(tài)精度測試;
4、機(jī)床動(dòng)態(tài)精度測試;
5、生命科學(xué)、醫(yī)學(xué)、動(dòng)物學(xué)研究;
6、橋梁、建筑振動(dòng)測試。
 

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